5月13日，韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部對外宣布，全球光刻機龍頭大廠阿斯麥(ASML)計劃在韓國建設(shè)光刻設(shè)備再制造工廠及培訓(xùn)中心，新廠預(yù)計在2025年建設(shè)完成。

ASML是一家總部設(shè)在荷蘭艾恩德霍芬的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，比如英特爾(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、臺積電(TSMC)、中芯國際(SMIC)等。

回歸正題，ASML的再制造廠，究竟有何玄機?所謂再制造，指的是以舊的機器設(shè)備為毛坯，采用專門的工藝和技術(shù)，在原有制造的基礎(chǔ)上進行一次新的制造，而且重新制造出來的產(chǎn)品無論是性能還是質(zhì)量都不亞于原先的新品。而此次ASML計劃在韓國新建的EUV再制廠，主要用途就是為韓國當(dāng)?shù)剡\行的EUV光刻機維護、升級提供助力。

簡單來說，就是ASML將淘汰的舊設(shè)備、故障設(shè)備進行修復(fù)，使其恢復(fù)如新。

對芯片制造商來說，先進的光刻機至關(guān)重要。目前最先進的5nm制程工藝，需要大量的光刻機。眾所周知，ASML是全球唯一一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。但是ASML的EUV光刻機產(chǎn)能十分有限，一年只能生產(chǎn)30臺左右EUV光刻機。

而全球?qū)饪虣C的需求也在不斷激增，除了在產(chǎn)能方面發(fā)力之外，延長當(dāng)前運行光刻機的使用壽命，也是必要工作。光刻機的使用壽命延長，不僅可以減輕當(dāng)?shù)禺a(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)壓力，也能為產(chǎn)能不足提供一定的緩沖。

其次，這對我國來說也是一個好消息。在2019年，中芯國際就向AML訂購了一臺光刻機，但美國一直放行。所謂條條大路通羅馬，美國一直不肯讓阿斯麥向中企供應(yīng)EUV光刻機，我國企業(yè)也想出了其他招數(shù)應(yīng)對。

例如，2020年9月，我國半導(dǎo)體材料制造商晶瑞股份就發(fā)布公告，宣布該司以1102.5萬美元的價格，從韓國SK海力士手上購入了一臺二手ASML光刻機。

由此看來，如今ASML有意對韓國的一些EUV光刻機設(shè)備進行更新升級，或許將來中企也能從韓國企業(yè)手中承接一些二手的EUV光刻機設(shè)備。

值得一提的是，此前韓國便已發(fā)布了半導(dǎo)體強國建設(shè)戰(zhàn)略規(guī)劃，將半導(dǎo)體研發(fā)稅額抵扣率提升至40～50%，并且還擬斥資約4500億美元建設(shè)全球最大的芯片制造基地，韓國想躋身芯片半導(dǎo)體大國行列的意圖不言而喻，此次阿斯麥赴韓國建廠，對加快韓國半導(dǎo)體建設(shè)將會有很大的助力。